SPM-Nanoa - Features
Scanning Probe Microscope/Atomic Force Microscope
뛰어난 기능
광학 현미경 이미지에서 SPM 이미지까지 모든 모드에서 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.
Sample: SiO2 patterns on Si
다양한 관찰 모드
형상 관찰에서 물리적 특성 맵핑에 이르기까지 다양한 관찰 모드를 지원합니다.
따라서 물리적 특성을 고해상도로 평가할 수 있습니다.
| Shape | Contact Mode / Dynamic Mode |
|---|---|
| Mechanical Properties | Phase Mode / Lateral Force Mode (LFM) / Force Modulation Mode / Nano 3D Mapping Fast* |
| Electromagnetivity | Electric Current Mode* / Magnetic Force Mode (MFM)* / Surface Potential Mode (KPFM)* / Piezoelectric Force Mode (PFM)* / STM* |
| Machining | Vector Scanning |
| Atmospheric Control | Observation in Liquid |
* Optional
Target 검색도 간단
진동의 영향을 받지 않고 선명한 광학현미경 이미지를 통해서 Target를 쉽게 찾을 수 있습니다. 고성능 광학현미경과 SPM 유닛을 일체화 하였습니다.
테스트 패턴 관찰
일체형 광학 현미경(좌)으로 3um 간격의 시료 표면 격자 구조를 명료하게 관찰할 수 있습니다..
국소적인 물성을 고분해능으로 관찰
아주 부드러운 시료의 변형이나 시료의 기계적 특성•전기특성의 차이가 국소적인 부분도 고 분해능으로 관찰할 수 있습니다.
마이카 기판 위의 금 나노입자 KPFM 관찰
0.2um의 형상 이미지(좌)와 같은 시야의 표면 전위 이미지 (우)를 관찰할 수 있습니다.
8K 이미지로 고해상도 넓은 영역 관찰
넓은 영역을 관찰했을 때도 미세한 구조를 확인할 수 있습니다. 최대 8K (8192 × 8192) 해상도로 고분해능 관찰을 실현했습니다.
금속 증착막 관찰
자동 관찰
레이저 광축 조정과 관찰중 조건 설정, 이미지 처리 자동화
표준시료 • 표준 컨틸레버 사용시 : 소요시간 약 5분*
* 1 μm 시야를 256 × 256 화소로 자동 관찰 했을 경우의 소요시간입니다. 소요 시간에는 개인차가 있습니다.
기존 SPM/AFM은 노하우가 필요가 있었던 광축 조정과 관찰 중 조건 설정, 이미지 처리를 자동화해서 스트레스 없이 관찰할 수 있도록 서포트 합니다.
시간 단축
다양한 서포트 기능으로 신속한 관찰을 실현
관찰과 물성 맵핑을 고속화해서 관찰 시간을 대폭 줄였습니다. 시료 교환과 컨틸레버 교환을 간편화해서 관찰 전 준비도 보다 빠르게 할 수 있습니다.
시간 단축을 가능하게 하는 3개의 기능
High-Throughput 관찰
고속 물성 맵핑
고속 응답을 실현한 HT스캐너 채용과 제어 알고리즘 최적화로 관찰과 물성 맵핑 데이터 취득 시간을 대폭 단축했습니다.
* 측정 시간은 관찰 조건에 따라서 다릅니다.
원클릭 샘플교환
원터치로 스테이지를 자동으로 열고 닫을 수 있어 시료를 간단하게 넣고 뺄 수 있습니다. 레이저 조사 위치가 유지되기 때문에 시료를 교환한 후에도 바로 관찰할 수 있습니다.
간편하고 확실한 컨틸레버 교환
컨틸레버를 정해진 위치에 놓고, 가이드에 따라서 흘려 보내면 장착할 수 있습니다. 핀셋 사용에 익숙하지 않은 사람도 간편하고 확실하게 작업을 할 수 있습니다.
