Xslicer SMX-6010

CT 촬영의 종류 / 특징

  Planer CT (PCT) : 표준으로 탑재하고 있는 CT 기능

X-Ray 디텍터를 기울여서 배치한 상태로 회전하면서 투시 이미지를 촬영하는 방법으로 CT 촬영을 실시합니다.
XY 스테이지에 있는 샘플을 X-Ray 발생장치에 근접시킬 수 있기 때문에 샘플 폭에 관계 없이 확대하여 PCT 촬영을 할 수 있습니다.

  Planer CT (PCT) 의 특징

Planer CT에서 회로기판과 같은 샘플을 촬영하는 경우, 샘플의 폭에 영향을 받는 직교 CT와는 달리 고배율 촬영이 가능합니다.

  VCT (직교CT) : 옵션

 

X-Ray 검출기를 위 방향에서 고정하고 샘플을 회전 시키면서 투시 이미지를 촬영하는 것으로 CT 촬영을 실시합니다. 확대는 샘플의 폭에 의존하지만, X-Ray의 조사 방향에 대하여 직교한 상태로 촬영이 가능합니다. CT 유니트를 투시 스테이지에 세트하여 소프트웨어 탭을 전환하는 것만으로 VCT 촬영을 할 수 있습니다.

사이즈	PCB :  100 × 150mm 이하 Small Sample : 직경 50 × 100mm max.
무게	200g max.

 

※  VCT 옵션에서는 티칭 기능과 스텝 이동 기능을 사용할 수 없습니다.

  VCT (직교CT) 의 특징

PCT는  대각선 방향에서 촬영한 이미지를 바탕으로 이미지 재구성을 하기 때문에 수직 단면 이미지에서 그 영향이 나타나게 됩니다.
VCT는 X선의 조사 방향에 대하여 직교한 상태로 촬영을 하기 때문에 선명한 수직 단면 이미지를 얻을 수 있습니다.

시스템 구성

  보수가 용이한 X-Ray 발생장치와 각종 안전기구를 탑재한 시스템으로 낮은 코스트로 안전하게 사용가능

X-Ray 발생장치

관전압 160kV, 1μm 분해능 오픈형 X-Ray 발생장치를 사용.
고전압 발생장치와 일체화를 실현하여 그리스업의 작업이 필요하지 않습니다.
필라멘트 교환은 자동 조정기능을 이용하여 간단하게 실시할 수 있습니다.

※1μm 분해능 : JIMA 차트에서의 분해능

X-Ray 검출기

3M 픽셀의 FLAT PANEL DETECTOR를 사용.

5축 스테이지

샘플을 올려 놓는 스테이지의 X, Y, Z축의 구동과 검출기가 틸트, 회전하는 5축 구동 구조로 되어 있습니다.
5축이 연동 동작하여 다양한 각도에서의 검사를 서포트 합니다.

X-Ray 차폐체 (실드 박스)

안전하게 X-Ray를 차폐 하고 있습니다. (외부 누설 X-Ray 선량 : 1μSv/h 이하)
X-Ray 조사 중에는 정면 도어에 전자락 기능이 있어서 정면 도어가 열리지 않습니다.
또한, 인터락 기능을 이용하여 도어가 열려 있는 상태에서는 5축의 스테이지가 구동되지 않습니다.

충돌방지센서

X-Ray 검출기에 충돌방지센서가 있어서 긴급 상황이 발생하였을 때 (샘플 충돌)는 구동계를 정지시킵니다.

유틸리티

AC200 V±10% 1.5kVA (접지저항 100옴 이하) 만으로 동작 가능합니다.
에어, 냉각수 등의 공급을 필요로 하지 않습니다.