EDX-7200 - Features : SHIMADZU (Shimadzu Corporation)

고속·고감도·고정도
탁월한 범용성
충실한 정량기능
세련된 디자인
누구나 쉽게 사용할 수 있는 PCEDX Navi
편의성을 높이는 각 종 기능
다양한 데이터 출력

고속·고감도·고정도

고분해능 SDD검출기를 탑재하고 더 높은 계수율을 실현해서 지금까지 없었던 검출효율을 실현했습니다.

빠른 속도 - 처리량 최대 30배 -

고속 회로를 탑재해 기존 모델(EDX-720) 대비 30배의 계수율을 실현했습니다. (EDX-7000모델 대비 3배 향상)
알고리즘 개량과 기본 성능 향상으로 측정 시간을 단축시켜 보다 사용 편의성을 향상시켰습니다.

동 합금중 납(Pb)의 프로파일 비교
동 합금중 크롬(Cr)의 프로파일 비교

샘플 외관

.

실제 시료를 통한 비교

Pb Free 땜납에 함유된 납(Pb)을 기존 모델인 EDX-720과 EDX-7200으로 반복 재현성 측정을 해 비교했습니다.

형광 X선 분석은, 측정시간을 늘려서 형광X선의 카운트 수를 늘려 정도(반복 재현성)를 향상시킬 수 있습니다. 고 계수율 SDD검출기, 고속 회로를 탑재한 EDX-7200은 기존 모델(EDX-720)보다 짧은 시간에 목표로 하는 분석 정도를 얻을 수 있습니다.

고감도 - 검출하한 최대 6배 향상 -

금속 분석에 있어 주성분 안의 미량원소의 검출하한이 향상되었습니다.

금속중 납 검출히한(300초 측정시)
※ 검출하한 값은 한 예시로 보증하는 수치가 아닙니다.
경원소 매트릭스에서의 검출하한 비교

고분해능

에너지 분해능 비교 (시료 : PPS 수지)

Si(Li)반도체 검출기를 탑재한 기존 모델(EDX-720)과 비교해서 에너지 분해능이 우수합니다.
다른 원소에의한 피크 중첩의 영향이 적어지고, 분석 결과의 신뢰성이 향상됩니다.

액체질소 불필요

SDD검출기는 전자냉각 방식이기 때문에, 액체질소를 이용한 냉각이 필요 없습니다. 번거로운 액체질소 충전 작업에서 해방되는 것과 동시에, 장비 운용비용도 절감할 수 있습니다.

검출원소범위

- EDX-7200으로 ₁₂Mg이하의 경원소를 분석하기 위해서는 진공측정유닛 또는 헬륨치환유닛이 필요합니다. (옵션사양)
- 검출하한은 시료의 매트릭스 및 공존원소에 따라 차이가 있습니다.
- ₂₀Ca이하의 경원소를 시료 용기에 담아서 분석하는 경우, 필름 흡수의 영향으로 상기 검출하한 기준보다 나빠집니다.

탁월한 범용성

아주 작은 시료에서 대형시료, 분말, 액체시료까지 모든 시료에 유연하게 대응합니다.
경원소 고감도분석에 유용한 진공 유닛 및 He치환 유닛, 자동으로 12개 시료까지 연속으로 분석할 수 있는 Turret도 라인업되어 있습니다. (옵션)

4 종류의 콜리메이터 & 샘플 관찰 카메라

Φ 1, 3, 5, 10mm의 4 종류 콜리메이터를 자동 전환
샘플 크기에 맞게 4 종류의 콜리메이터를 선택할 수 있습니다.
작은 이물 시료나 불량 해석에는 Φ1mm, 샘플 양이 적은 경우에는 Φ3mm나 Φ5mm와 같이, 샘플 형상에 맞춰서 최적의 콜리메이터를 선택할 수 있습니다.

시료 관찰 카메라
시료 관찰 카메라를 통해서 X선이 조사되는 위치를 확인할 수 있습니다.
작은 시료를 측정하는 경우나, 여러 개의 부위로 이루어진 시료의 특정 부위에만 X선을 조사하고 싶은 경우, 미량 시료용 전용 용기를 사용하는 경우 등에 유용합니다.

5종류의 1차 필터 자동 교환

1 차 필터는 X-ray tube에서 발생된 특성 X선이나 연속 X선을 감쇄시켜 검출 감도를 향상시킵니다. 미량 함유된 원소를 분석할 때 유용합니다.
EDX-7200은 5종류의 1차 필터가 내장되어 있으며(Open 포함 6종), 소프트웨어를 통해서 자동으로 필터를 변경할 수 있습니다.

Filter	Effective Energy （keV）	Target Elements (Examples)
#1	15 to 26	Mo, Rh, Pd, Ag, Cd, Sn, Sb
#2	2 to 4	S, Cl
#3	5 to 7	Cr, Mn, Fe, Co, Ni
#4	7 to 13	Zn, As, Br, Zr, Hg, Pb
#5	4 to 7	Ti, V

1 차 필터의 효과

콜리메이터와 1차 필터 조합은 자유자재

콜리메이터와 1차 필터는 각 각 독립되어 구동되기 때문에 조합에 제약이 없습니다.
6종류 × 4종류 = 24종류의 조건에서 최적의 조합을 선택할 수 있습니다. 또한 모든 조합의 조건에서 FP법을 통한 정량분석이 가능합니다.

진공 측정 유닛 (옵션)

경원소에서 발생된 형광X선은 대기 분위기에서 흡수되기 쉬워 진공분호)위기에서 측정함으로서 경원소 고감도 분석이 가능해집니다.

진공 분위기를 100으로 했을 때의 He치환과 대기 분위기
상대 비교

진공 분위기와 대기 분위기의 프로파일 비교
(샘플 : 소다 석회 유리)

He치환 유닛 (옵션)

액체나 가스를 발생시키는 등, 진공 분위기를 만들 수 없는 시료에 함유된 경원소를 분석할 때는 He 치환이 유용합니다.
높은 효율로 He가스를 치환하는 독자 시스템을 채용해 (일본 특허 번호 5962855), 감도를 악화시키는 일 없이 퍼지 시간과 He가스 소비량을 모두 기존 모델 대비 40% 감소시켰습니다.

He치환과 대기 분위기 프로파일 비교

(EDX-7200 / 오일중 황 분석)

12 샘플 Turret (옵션)

Turret을 추가하면 자동으로 연속 분석이 가능해집니다.
특히 진공 · He 분위기 측정을 하는 경우 처리량 향상에 효과적입니다.

충실한 정량기능

검량선법

표준시료를 측정하고, 함유량과 형광X선 강도와의 관계를 검량선으로하여 미지시료를 정량하는 방법입니다.
미지시료의 재질과 비슷한 표준시료 선정과 원소 마다의 검량선이 필요하지만 정확도 높은 분석이 가능합니다. 흡수여기 보정 및 중첩보정 등 각 종 공존원소 보정에도 대응합니다.

FP법

이론강도 계산을 이용해서 측정 강도로부터 조성을 구하는 방법입니다. 표준시료 제작이 곤란한 미지시료의 정량분석에 위력을 발휘합니다. (일본 특허 제03921872, 미국특허 No.6314158, 영국특허 No.1054254, 독일 특허 No. 60042990. 3-08)
금속, 산화물, 수지 등의 분석에 대응하는 Bulk FP법도 있고, 도금, 박막두께 · 조성분석에 대응하는 박막 FP법도 표준으로 탑재되어 있습니다.

자동 밸런스 설정 기능 탑재
주성분이 C, H, O 등의 유기물인 경우, FP법에서는 밸런스(나머지) 설정이 필요하지만, 프로파일 형상으로 부터 밸런스 설정이 필요하다고 판단된 경우, 소프트웨어에서 자동으로 밸런스를 설정합니다.

백그라운드 FP법

백그라운드 FP법은 형광 X선 피크(순수 피크) 강도만 계산하는 기존 FP법에 산란 X선 (백그라운드)강도 계산을 추가한 것입니다. (일본 특허 5975181호).
소량 유기물 시료의 정량 정확도 향상 및 형상이 불규칙한 시료의 도금두께 측정, 유기 필름의 막 두께 측정에 유용합니다.

매칭기능

매칭 기능은 어떤 시료의 분석결과와 기존 데이터의 라이브러리를 비교해서 일치도가 높은 순으로 표시하는 기능입니다. 라이브러리에는 함유량 데이터와 강도 데이터 두 종류가 있고, 각 각 유저가 등록하는 것도 가능합니다. 또한, 함유량 데이터는 값을 직접 입력하는 것도 가능합니다.

세련된 디자인

폭 460mm의 컴팩트한 크기 & 대형 시료실 채용

컴팩트 한 본체 크기로 설치에 필요한 공간이 이전 기기보다 20 % 작아졌습니다.
또한, 본체 크기는 작아졌지만 최대 300 (W) × 275 (D) ×약 100 (H)mm의 대형 시료도 셋팅할 수 있습니다.

시인성 높은 LED 표시등

X-ray가 발생하면 기기 후면의 X-ray 표시등과 전면의 X-RAYS ON 램프가 켜집니다.
분석 중에는 X-ray 표시등의 양 옆에 파란 램프가 들어와 멀리서도 장비의 상태를 한 눈에 확인할 수 있습니다.

누구나 쉽게 사용할 수 있는 PCEDX Navi

형광X선 분석을 보다 친숙하게 하기 위해서 개발된 것이 간단분석 소프트웨어 PCEDX Navi입니다.
직관적으로 조작할 수 있도록 고안된 심플하고 세련된 화면은 초심자에서 숙련자까지 모두에게 쾌적한 조작환경을 제공합니다.

분석 준비 효율을 높이기 위한 기능

간단한 화면 구성
한 화면에서 샘플 이미지 표시, 분석 조건 선택 및 샘플 이름을 입력할 수 있습니다.

측정 화면에서 콜리메이터 전환
샘플 이미지를 관찰하면서 콜리메이터 직경을 변경할 수 있습니다.
선택한 측정 영역(콜리메이터 직경)은 노란색 원으로 표시됩니다.

샘플 이미지 자동 저장
측정이 시작되면 샘플 이미지를 자동으로 저장하고, 측정 데이터와 연동되어 관리됩니다.

확인하고 싶은 데이터를 바로 찾을 수 있는 시인성 높은 분석 결과 표시

가장 먼저 확인하고 싶은 데이터를 알기 쉽게 표시
측정이 완료되면 원소 이름, 농도, 3σ (측정 분산)가 샘플 이미지와 함께 알기 쉽게 표시됩니다.

분석 리포트도 원 클릭으로 표시
한 번의 마우스 클릭으로 결과 "분석 결과 일람"과 "개별 리포트"를 표시할 수 있습니다.

연속 분석 지원
PCEDX Navi는 옵션인 Turret을 사용한 측정을 지원합니다.
샘플 이미지 화면과 샘플 위치 화면을 전환하면서 손쉽게 시료 정보를 입력할 수 있습니다.

편의성을 높이는 각 종 기능

간편한 기기 시작

장비 초기화, X-ray ON은 PCEDX-Navi 소프트웨어에서 각 각 한 번의 클릭으로 완료됩니다.
기동 후에는 자동으로 기기 안정화 대기(15분)에 들어가며, 그 동안 분석 작업이나 기기 체크를 할 수 없기 때문에, 누구나 안정된 상태의 장비로 데이터를 취득할 수 있습니다.

자동 X-ray tube 에이징

X-ray 튜브를 장기간 사용하지 않은 경우 다시 사용하려면 에이징이 작업이 필요합니다. 소프트웨어는 미사용 기간에 따라 자동으로 적절한 에이징을 실시합니다.

조건 보호 기능

소프트웨어에 패스워드를 설정할 수 있습니다. 조건설정 · 변경은 패스워드를 입력한 사람만 할 수 있도록 되어 있습니다.

기존 소프트웨어도 탑재

기존 EDX 시리즈 소프트웨어의 조작성을 답습한 소프트웨어 PCEDX Pro도 탑재되어 있습니다. 분석, 조건설정, 데이터 처리 등 통상의 작업은 PCEDX Pro를 이용해서도 할 수 있습니다.
당사의 기존 모델로 취득한 데이터의 프로파일이나 정량값을 확인하는 것도 가능합니다.

다양한 데이터 출력

보고서 생성 기능

HTML 형식 또는 Excel 형식으로 분석 데이터 보고서를 작성할 수 있습니다. 각 종 템플릿 양식을 이용할 수 있습니다.
보고서에는 측정시 자동으로 저장된 시료 이미지가 첨부되기 때문에 측정 위치도 확인할 수 있습니다.

Excel 형식의 RoHS 스크리닝 보고서

* Microsoft Office 는 별도 준비 바랍니다.

HTML 형식의 일반 분석 보고서

리스트 작성 기능

여러 시료의 분석 결과를 Excel 형식의 리스트 파일로 만들 수 있습니다. 리스트에서 데이터를 지정해 데이터의 상세 확인이나 편집도 가능합니다. RoHS 등 특정 유해원소 리스트나 유저가 임의의 원소를 설정할 수 있는 리스트 등, 각 종 템플릿이 준비되어 있습니다.

임의로 원소를 지정할 수 있는 리스트