고감도 분석 지원

검출기와 측정 가능한 범위의 관계

Relationship between Detectors and Measurable Range

광전자 증배관(Photomultiplier tube, PMT) 검출기는 700 nm ~ 1000 nm 범위에서 InGaAs 검출기로 전환할 수 있습니다(기본 전환 파장은 870 nm). InGaAs 검출기는 1600 nm ~ 1800 nm 범위에서 PbS 검출기로 전환할 수 있습니다(기본 전환 파장은 1650nm).

SolidSpec-3700i/3700i DUV는 자외선에서 근적외선까지 범위를 측정하는 3개의 검출기가 장착되어 있습니다. 이 기기에서 근적외선 영역의 감도는 InGaAs와 냉각 PbS 검출기를 모두 사용하여 크게 향상되었습니다. 따라서, 자외선에서 근적외선까지 매우 정확한 스펙트럼을 얻는 것이 가능합니다.

Three Detectors

Sensitivity Characteristic

기존의 분광광도계는 자외선 및 가시광선 영역에 PMT 검출기를 사용하고 근적외선 영역에 PbS 검출기를 사용했습니다. 그러나 이 두 검출기 전환 부근에서 감도가 낮아지는 현상에 의해 고감도 측정이 어려웠습니다. SolidSpec-3700i/3700i DUV는 두 검출기의 전환 부근의 감도를 향상시키기 위해서 InGaAs 검출기를 사용하였으며, 감도 저하 없이 고감도 측정이 가능하게 되었습니다.

넓은 측정 범위 (SolidSpec-3700i DUV)

SolidSpec-3700i DUV(note1)는 옵션인 Direct Detection Unit, DUV를 장착하여 적분구로 175 nm ~ 2600 nm(note2) 범위와 165 nm ~ 3300 nm(note3) 범위의 측정을 가능하게 합니다. 이 추가 장치로 자외선에서 근적외선까지 매우 광범위한 영역의 측정이 가능합니다.

Nitrogen Gas Purge

대기 중의 산소 분자는 190 nm 이하의 자외선을 흡수합니다. 간섭 산소 분자를 제거하려면 광학 및 시료 컴파트먼트에 질소 가스 퍼징이 필요합니다. SolidSpec-3700i DUV에는 각 컴파트먼트마다 퍼지 흡입구가 있기 때문에 효율적인 질소 가스 퍼징이 가능하고 매우 낮은 자외선 영역에서 높은 감도를 얻을 수 있습니다.

Integrating Sphere and Photomultiplier for the Deep Ultraviolet Region

190 nm 이하의 낮은 자외선 영역을 측정하기 위해서는 검출기의 윈도우, 적분구 내부 물질이 낮은 영역의 자외선 영역을 흡수하지 않는 물질로 사용되어야만 합니다. SolidSpec-3700i DUV는 실리카가 융합된 재료로 PMT 검출기 윈도우를, 낮은 자외선 영역에서 반사성이 높은 레진을 적분구 내부 재료로 사용했습니다. 

NOTE 1) SolidSpec-3700i DUV로 190 nm 이하의 범위를 측정하려면 SolidSpec-3700i DUV 내부의 산소 분자의 간섭을 제거하기 위해 질소 가스 퍼지가 필요합니다.
NOTE 2) SolidSpec-3700i의 측정 가능 범위는 240 nm~2600 nm입니다.
NOTE 3) Direct Detection Unit 옵션을 사용하는 SolidSpec-3700i의 측정 가능 범위는 190 nm~3300 nm입니다.

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대형 시료 컴파트먼트로 다양한 시료 측정을!

Large Sample Compartment Accommodates a Wide Variety of Samples

SolidSpec-3700i 및 3700i DUV에는 매우 큰 시료 컴파트먼트(시료실)이 있기때문에 시료를 절단하는 등 시료 처리 없이 대형 시료 측정이 가능합니다. 시료 컴파트먼트의 내부 크기는 900 W × 700 D × 350 H mm입니다. 따라서 최대 700 W × 560 D × 40 H mm의 시료를 장착착 가능하고 자동 X-Y stage(옵션)를 장착하여 12인치 또는 310 × 310 mm의 전체 샘플 면적을 측정할 수 있습니다. 이 시스템의 수직 광학 경로를 통해 큰 시료의 투과 또는 반사 측정을 수행할 수 있습니다.

 

3차원 광 경로를 통한 대형 시료의 측정

Three Dimensional Optical Path

이 시스템은 3차원 광경로를 통해 대형 시료의 비파괴 측정이 가능합니다. 이전 모델의 광학적 경로에서는 빛이 일반적으로 시료의 수평 경로에 있지만 SolidSpec-3700i 및 3700i DUV에는 수직 방향으로도 측정이 가능한 3차원 광 경로 시스템이(미국 특허 6583872)가 장착되어있습니다. 따라서 시료가 시료 컴파트먼트 내에 수평으로  배치 가능합니다. 

또한, 절대 정반사율, 적분구 등 다양한 액세서리가 SolidSpec-3700i/3700i DUV를 위하여 개발되어습니다. 또한 옵션인 Automatic X-Y Stage로 시료의 간격과 회전 각도를 입력하면 자동 측정이 되므로 대형 시료에서 측정 위치를 매우 간편하게 설정하고 분석을 수행합니다.

자동 측정 : Automatic X-Y Stage (옵션)

Automatic X-Y Sta(옵션)

TSolidSpec-3700i/3700i DUV용으로 개발된 Automatic X-Y Stage를 사용하면 질소 가스 퍼지 상태를 유지하면서 사전에 지정된 위치의 자동 측정이 가능합니다.

Automatic X-Y Stage

 

액체 및 고체 시료의 직접 측정

Direct Detection Unit (Option)

 SolidSpec-3700i/3700i DUV는 표준 검출 시스템으로 적분구를 사용하여 시료를 측정합니다. 그러나 일부 시료는 적분구를 사용하지 않고 측정해야 합니다. Direct Detection Unit은 바로 이러한 경우를 위해 만들어졌습니다. SolidSpec-3700i DUV에 DDU-DUV(Direct Detection Unit)를 장착하면 165 nm(NOTE)까지 측정이 가능합니다. 

Direct Detection Unit

NOTE) SolidSpec-3700i DUV로 190 nm 이하를 측정하려면 SolidSpec-3700i DUV 내부의 간섭 산소 분자를 제거하기 위해 질소 가스 퍼징이 필요합니다.Direct Direction Unit(옵션)을 사용하는 SolidSpec-3700i의 측정 가능 범위는 190 nm~3300 nm입니다.

 

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