SolidSpec-3700i/3700iDUV - Features
UV-VIS-NIR Spectrophotometer
고감도 분석 지원
검출기와 측정 가능한 범위의 관계
광전자 증배관(Photomultiplier tube, PMT) 검출기는 700 nm ~ 1000 nm 범위에서 InGaAs 검출기로 전환할 수 있습니다(기본 전환 파장은 870 nm). InGaAs 검출기는 1600 nm ~ 1800 nm 범위에서 PbS 검출기로 전환할 수 있습니다(기본 전환 파장은 1650nm).
SolidSpec-3700i/3700i DUV는 자외선에서 근적외선까지 범위를 측정하는 3개의 검출기가 장착되어 있습니다. 이 기기에서 근적외선 영역의 감도는 InGaAs와 냉각 PbS 검출기를 모두 사용하여 크게 향상되었습니다. 따라서, 자외선에서 근적외선까지 매우 정확한 스펙트럼을 얻는 것이 가능합니다.
기존의 분광광도계는 자외선 및 가시광선 영역에 PMT 검출기를 사용하고 근적외선 영역에 PbS 검출기를 사용했습니다. 그러나 이 두 검출기 전환 부근에서 감도가 낮아지는 현상에 의해 고감도 측정이 어려웠습니다. SolidSpec-3700i/3700i DUV는 두 검출기의 전환 부근의 감도를 향상시키기 위해서 InGaAs 검출기를 사용하였으며, 감도 저하 없이 고감도 측정이 가능하게 되었습니다.
넓은 측정 범위 (SolidSpec-3700i DUV)
SolidSpec-3700i DUV(note1)는 옵션인 Direct Detection Unit, DUV를 장착하여 적분구로 175 nm ~ 2600 nm(note2) 범위와 165 nm ~ 3300 nm(note3) 범위의 측정을 가능하게 합니다. 이 추가 장치로 자외선에서 근적외선까지 매우 광범위한 영역의 측정이 가능합니다.
대기 중의 산소 분자는 190 nm 이하의 자외선을 흡수합니다. 간섭 산소 분자를 제거하려면 광학 및 시료 컴파트먼트에 질소 가스 퍼징이 필요합니다. SolidSpec-3700i DUV에는 각 컴파트먼트마다 퍼지 흡입구가 있기 때문에 효율적인 질소 가스 퍼징이 가능하고 매우 낮은 자외선 영역에서 높은 감도를 얻을 수 있습니다.
190 nm 이하의 낮은 자외선 영역을 측정하기 위해서는 검출기의 윈도우, 적분구 내부 물질이 낮은 영역의 자외선 영역을 흡수하지 않는 물질로 사용되어야만 합니다. SolidSpec-3700i DUV는 실리카가 융합된 재료로 PMT 검출기 윈도우를, 낮은 자외선 영역에서 반사성이 높은 레진을 적분구 내부 재료로 사용했습니다.
NOTE 1) SolidSpec-3700i DUV로 190 nm 이하의 범위를 측정하려면 SolidSpec-3700i DUV 내부의 산소 분자의 간섭을 제거하기 위해 질소 가스 퍼지가 필요합니다.
NOTE 2) SolidSpec-3700i의 측정 가능 범위는 240 nm~2600 nm입니다.
NOTE 3) Direct Detection Unit 옵션을 사용하는 SolidSpec-3700i의 측정 가능 범위는 190 nm~3300 nm입니다.
- 응용 어플리케이션 확인!
대형 시료 컴파트먼트로 다양한 시료 측정을!
SolidSpec-3700i 및 3700i DUV에는 매우 큰 시료 컴파트먼트(시료실)이 있기때문에 시료를 절단하는 등 시료 처리 없이 대형 시료 측정이 가능합니다. 시료 컴파트먼트의 내부 크기는 900 W × 700 D × 350 H mm입니다. 따라서 최대 700 W × 560 D × 40 H mm의 시료를 장착착 가능하고 자동 X-Y stage(옵션)를 장착하여 12인치 또는 310 × 310 mm의 전체 샘플 면적을 측정할 수 있습니다. 이 시스템의 수직 광학 경로를 통해 큰 시료의 투과 또는 반사 측정을 수행할 수 있습니다.
3차원 광 경로를 통한 대형 시료의 측정
이 시스템은 3차원 광경로를 통해 대형 시료의 비파괴 측정이 가능합니다. 이전 모델의 광학적 경로에서는 빛이 일반적으로 시료의 수평 경로에 있지만 SolidSpec-3700i 및 3700i DUV에는 수직 방향으로도 측정이 가능한 3차원 광 경로 시스템이(미국 특허 6583872)가 장착되어있습니다. 따라서 시료가 시료 컴파트먼트 내에 수평으로 배치 가능합니다.
또한, 절대 정반사율, 적분구 등 다양한 액세서리가 SolidSpec-3700i/3700i DUV를 위하여 개발되어습니다. 또한 옵션인 Automatic X-Y Stage로 시료의 간격과 회전 각도를 입력하면 자동 측정이 되므로 대형 시료에서 측정 위치를 매우 간편하게 설정하고 분석을 수행합니다.
자동 측정 : Automatic X-Y Stage (옵션)
Automatic X-Y Sta(옵션)
TSolidSpec-3700i/3700i DUV용으로 개발된 Automatic X-Y Stage를 사용하면 질소 가스 퍼지 상태를 유지하면서 사전에 지정된 위치의 자동 측정이 가능합니다.
액체 및 고체 시료의 직접 측정
Direct Detection Unit (Option)
SolidSpec-3700i/3700i DUV는 표준 검출 시스템으로 적분구를 사용하여 시료를 측정합니다. 그러나 일부 시료는 적분구를 사용하지 않고 측정해야 합니다. Direct Detection Unit은 바로 이러한 경우를 위해 만들어졌습니다. SolidSpec-3700i DUV에 DDU-DUV(Direct Detection Unit)를 장착하면 165 nm(NOTE)까지 측정이 가능합니다.
NOTE) SolidSpec-3700i DUV로 190 nm 이하를 측정하려면 SolidSpec-3700i DUV 내부의 간섭 산소 분자를 제거하기 위해 질소 가스 퍼징이 필요합니다.Direct Direction Unit(옵션)을 사용하는 SolidSpec-3700i의 측정 가능 범위는 190 nm~3300 nm입니다.
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