EDX-8100 - Features

폭 460mm의 컴팩트한 크기 & 대형 시료실 채용

컴팩트 한 본체 크기로 설치에 필요한 공간이 이전 기기보다 20 % 작아졌습니다.
또한, 본체 크기는 작아졌지만 최대 300 (W) × 275 (D) ×약 100 (H)mm의 대형 시료도 셋팅할 수 있습니다.

시인성 높은 LED 표시등

X-ray가 발생하면 기기 후면의 X-ray 표시등과 전면의 X-RAYS ON 램프가 켜집니다. 
분석 중에는  X-ray 표시등의 양 옆에 파란 램프가 들어와 멀리서도 장비의 상태를 한 눈에 확인할 수 있습니다.

고성능 SDD 검출기를 탑재하고 하드웨어 최적화를 통해서 지금까지 없던 고감도 · 고속 분석과 높은 에너지 분해능을 실현했습니다. EDX-8100은 6C부터 분석이 가능합니다.

고감도 − 검출 하한 1.5 ~ 5 배 향상! −

고성능 SDD 검출기와 최적화 된 광학계 및 1 차 필터의 조합으로, 지금까지 없던 고감도 분석을 실현했습니다. 
경원소에서 중원소까지 모든 범위에 걸쳐 기존의 Si(Li) 반도체 검출기를 탑재한 모델보다 감도가 향상되었습니다.

고속 − 처리량 최대 10 배 증가 −

SDD 검출기는 단위 시간당 카운트 할 수 있는 형광X선의 수가 많아, 더 짧은 시간에 정확도 높은 분석이 가능합니다. 
특히 금속 등 주성분 원소에서의 형광X선이 많이 발생하는 시료 분석시 장점을 극대화 할 수 있습니다.

고 분해능

최신 SDD 검출기를 탑재해 Si(Li) 반도체 검출기를 탑재한 기존 모델과 비교해 에너지 분해능이 향상되었습니다.
다른 원소에 의한 피크 중첩의 영향이 줄어들어 분석 결과의 신뢰성이 향상되었습니다.

액체 질소 불요

SDD 검출기는 전자냉각방식을 사용하기 때문에 액체질소를 통한 냉각이 필요 없습니다. 번거로운 액체질소 보충 작업에서 해방되는 것과 동시에 기기 러닝 코스트 저감에도 기여합니다.

검출원소범위

• EDX-7000 / 8100으로 경원소 (₁₅P 이하)를 측정하려면 선택 사양 인 진공 측정 장치 또는 헬륨 퍼지 장치가 필요합니다.
• 검출 하한은 샘플 매트릭스 또는 공존원소에 따라 다릅니다.
• ₂₀Ca 이하의 경원소를 샘플컵을 이용해 분석할 때는 필름의 흡수로 검출하한 값은 위의 기준보다 악화됩니다.
• 필름 흡수로 인해 ₈O 이하의 경원소를 샘플컵을 이용해서 분석하는 것은 불가능합니다.

초 경원소 원소 분석

EDX-8000의 불소 (F) 프로파일

EDX-8100은 윈도우 재질에 극 박막 특수 소재를 사용한 SDD검출기를 탑재하고 있어, 탄소 (C), 산소 (O) 및 불소 (F)와 같은 초 경원소를 검출할 수 있습니다.

아주 작은 시료에서 대형시료, 분말, 액체시료까지 모든 시료에 유연하게 대응합니다.
경원소 고감도분석에 유용한 진공 유닛 및 He치환 유닛, 자동으로 12개 시료까지 연속으로 분석할 수 있는 Turret도 라인업되어 있습니다. (옵션)

4 종류의 콜리메이터 & 샘플 관찰 카메라

Φ 1, 3, 5, 10mm의 4 종류 콜리메이터를 자동 전환
샘플 크기에 맞게 4 종류의 콜리메이터를 선택할 수 있습니다.
작은 이물 시료나 불량 해석에는 Φ1mm, 샘플 양이 적은 경우에는 Φ3mm나 Φ5mm와 같이, 샘플 형상에 맞춰서 최적의 콜리메이터를 선택할 수 있습니다.

시료 관찰 카메라
시료 관찰 카메라를 통해서 X선이 조사되는 위치를 확인할 수 있습니다.
작은 시료를 측정하는 경우나, 여러 개의 부위로 이루어진 시료의 특정 부위에만 X선을 조사하고 싶은 경우, 미량 시료용 전용 용기를 사용하는 경우 등에 유용합니다.

5종류의 1차 필터 자동 교환

1 차 필터는 X-ray tube에서 발생된 특성 X선이나 연속 X선을 감쇄시켜 검출 감도를 향상시킵니다. 미량 함유된 원소를 분석할 때 유용합니다.
EDX-8100은 5종류의 1차 필터가 내장되어 있으며(Open 포함 6종), 소프트웨어를 통해서 자동으로 필터를 변경할 수 있습니다.

콜리메이터와 1차 필터 조합은 자유자재

콜리메이터와 1차 필터는 각 각 독립되어 구동되기 때문에 조합에 제약이 없습니다.
6종류 × 4종류 = 24종류의 조건에서 최적의 조합을 선택할 수 있습니다. 또한 모든 조합의 조건에서 FP법을 통한 정량분석이 가능합니다.

진공 측정 유닛 (옵션)

경원소에서 발생된 형광X선은 대기 분위기에서 흡수되기 쉬워 진공분호)위기에서 측정함으로서 경원소 고감도 분석이 가능해집니다.

He치환 유닛 (옵션)

액체나 가스를 발생시키는 등, 진공 분위기를 만들 수 없는 시료에 함유된 경원소를 분석할 때는 He 치환이 유용합니다.
높은 효율로 He가스를 치환하는 독자 시스템을 채용해 (일본 특허 번호 5962855), 감도를 악화시키는 일 없이 퍼지 시간과 He가스 소비량을 모두 기존 모델 대비 40% 감소시켰습니다.
(EDX-8100 옵션)

He치환과 대기분위기 프로파일 비교
(EDX-7000 / 샘플 : 유황)

He치환과 대기 분위기 프로파일 비교
(EDX-8100 / 샘플 : 불소 코팅제 내 불소)

12 샘플 Turret (옵션)

Turret을 추가하면 자동으로 연속 분석이 가능해집니다.
특히 진공 · He 분위기 측정을 하는 경우 처리량 향상에 효과적입니다.

검량선법

표준시료를 측정하고, 함유량과 형광X선 강도와의 관계를 검량선으로하여 미지시료를 정량하는 방법입니다.
미지시료의 재질과 비슷한 표준시료 선정과 원소 마다의 검량선이 필요하지만 정확도 높은 분석이 가능합니다. 흡수여기 보정 및 중첩보정 등 각 종 공존원소 보정에도 대응합니다.

FP법

이론강도 계산을 이용해서 측정 강도로부터 조성을 구하는 방법입니다. 표준시료 제작이 곤란한 미지시료의 정량분석에 위력을 발휘합니다.  (일본 특허 제03921872, 미국특허 No.6314158, 영국특허 No.1054254, 독일 특허 No. 60042990. 3-08)
금속, 산화물, 수지 등의 분석에 대응하는 Bulk FP법도 있고, 도금, 박막두께 · 조성분석에 대응하는 박막 FP법도 표준으로 탑재되어 있습니다.

자동 밸런스 설정 기능 탑재
주성분이 C, H, O 등의 유기물인 경우, FP법에서는 밸런스(나머지) 설정이 필요하지만, 프로파일 형상으로 부터 밸런스 설정이 필요하다고 판단된 경우, 소프트웨어에서 자동으로 밸런스를 설정합니다.

백그라운드 FP법

백그라운드 FP법은 형광 X선 피크(순수 피크) 강도만 계산하는 기존 FP법에 산란 X선 (백그라운드)강도 계산을 추가한 것입니다. (일본 특허 5975181호).
소량 유기물 시료의 정량 정확도 향상 및 형상이 불규칙한 시료의 도금두께 측정, 유기 필름의 막 두께 측정에 유용합니다.

매칭기능

                              매칭 결과

매칭 기능은 어떤 시료의 분석결과와 기존 데이터의 라이브러리를 비교해서 일치도가 높은 순으로 표시하는 기능입니다. 라이브러리에는 함유량 데이터와 강도 데이터 두 종류가 있고, 각 각 유저가 등록하는 것도 가능합니다. 또한, 함유량 데이터는 값을 직접 입력하는 것도 가능합니다.

간편한 기기 시작

장비 초기화, X-ray ON은 PCEDX-Navi 소프트웨어에서 각 각 한 번의 클릭으로 완료됩니다. 
기동 후에는 자동으로 기기 안정화 대기(15분)에 들어가며, 그 동안 분석 작업이나 기기 체크를 할 수 없기 때문에, 누구나 안정된 상태의 장비로 데이터를 취득할 수 있습니다.

자동 X-ray tube 에이징

X-ray 튜브를 장기간 사용하지 않은 경우 다시 사용하려면 에이징이 작업이 필요합니다. 소프트웨어는 미사용 기간에 따라 자동으로 적절한 에이징을 실시합니다.

조건 보호 기능

소프트웨어에 패스워드를 설정할 수 있습니다. 조건설정 · 변경은 패스워드를 입력한 사람만 할 수 있도록 되어 있습니다.

기존 소프트웨어도 탑재

기존 EDX 시리즈 소프트웨어의 조작성을 답습한 소프트웨어 PCEDX Pro도 탑재되어 있습니다. 분석, 조건설정, 데이터 처리 등 통상의 작업은  PCEDX Pro를 이용해서도 할 수 있습니다.
당사의 기존 모델로 취득한 데이터의 프로파일이나 정량값을 확인하는 것도 가능합니다.

보고서 생성 기능

HTML 형식 또는 Excel 형식으로 분석 데이터 보고서를 작성할 수 있습니다. 각 종 템플릿 양식을 이용할 수 있습니다.
보고서에는 측정시 자동으로 저장된 시료 이미지가 첨부되기 때문에 측정 위치도 확인할 수 있습니다.

리스트 작성 기능

여러 시료의 분석 결과를 Excel 형식의 리스트 파일로 만들 수 있습니다. 리스트에서 데이터를 지정해 데이터의 상세 확인이나 편집도 가능합니다. RoHS 등 특정 유해원소 리스트나 유저가 임의의 원소를 설정할 수 있는 리스트 등, 각 종 템플릿이 준비되어 있습니다.